マグネトロンスパッタ膜の種類と応用

マグネトロンスパッタは普通は2種類：支流スパッタリングと週波数スパッタリング、その支流スパッタリング装置の原理に簡単ですが、スパッタ金属時、そのスピードも速い。そして週波数スパッタリングの使用範囲はさらに広くり、可スパッタリング導電材料のほか、スパッタ非導電材料、また同時に司を反応スパッタリング調製酸化物、窒化物やカーバイドなどの化合物の材料。もし無線の週波数を高めになるマイクロ波プラズマスパッタリング、現在常用の電子サイクロトロン共鳴（ECR）型マイクロ波プラズマスパッタリング。

今マグネトロンスパッタコーティングは比較的成熟し、主に応用して、以下の分野における：装飾薄膜ターゲット、建築ガラス、自動車ガラス、低い輻射ガラス、グラフィックディスプレイ、光通信/光学工業、光データストレージ工業、光データストレージ工業、磁気データストレージ工業。宝鶏欧凱をご提供高品質ターゲット、お使いの安心！